Bersaglio sputtering in titanio

 

Il Titanium Sputtering Target è un materiale di rivestimento critico utilizzato nei processi PVD (Physical Vapour Deposition) per dispositivi a semiconduttore, display a schermo piatto, rivestimenti ottici, supporti di memorizzazione dati e trattamenti superficiali decorativi. La qualità del target influisce direttamente sulla purezza della pellicola, sulla stabilità della deposizione, sulla generazione di particelle e sulle prestazioni del rivestimento finale. China Super Tech Co., Ltd. produce target in titanio di elevata-purezza utilizzando fusione sotto vuoto, forgiatura di precisione e processi di lavorazione controllata per garantire una microstruttura omogenea, una distribuzione uniforme dei grani e un comportamento stabile nello sputtering, aiutando i clienti a ottenere una qualità di rivestimento più elevata, un migliore utilizzo del target e tempi di fermo della produzione ridotti.

 

 

1. Elevata purezza per prestazioni stabili del film sottile
Offriamo livelli di purezza fino al 99,995%, prodotti con materie prime di titanio accuratamente selezionate e raffinate attraverso processi di fusione sotto vuoto. Il basso contenuto di impurità riduce al minimo la contaminazione durante la deposizione, il che è particolarmente importante per le applicazioni di semiconduttori, ottiche ed elettroniche che richiedono un'elevata integrità della pellicola.

2. Struttura del grano uniforme per uno sputtering coerente
Attraverso la forgiatura in più-fasi e la lavorazione termo-meccanica, la microstruttura interna diventa più omogenea rispetto ai materiali fusi convenzionali. La distribuzione uniforme dei grani riduce l'erosione localizzata, migliora l'uniformità dello sputtering e aiuta a mantenere tassi di deposizione stabili per tutta la vita del bersaglio.

3. Bassa generazione di particelle
Difetti superficiali e incoerenze microstrutturali sono cause comuni di formazione di particelle durante lo sputtering. I nostri processi di lavorazione di precisione e finitura superficiale riducono la densità dei difetti, aiutando i clienti a ridurre la contaminazione da particelle e a migliorare la resa produttiva.

4. Forte affidabilità del legame
Per i target incollati, utilizziamo tecnologie di incollaggio controllate e rigorose procedure di ispezione dell'interfaccia per ottenere un'eccellente conduttività termica e dissipazione del calore. Ciò aiuta a ridurre lo stress termico durante le operazioni di sputtering ad alta-potenza e prolunga la durata di servizio prevista.

5. Elevato utilizzo del materiale
La precisione dimensionale ottimizzata e le caratteristiche di erosione uniforme consentono un consumo target più efficiente prima della sostituzione, riducendo i costi complessivi del rivestimento e migliorando i tempi di attività delle apparecchiature.

 

 

1.Produzione di semiconduttori
Le pellicole di titanio sono ampiamente utilizzate come strati di adesione e strati barriera nei circuiti integrati. Gli obiettivi di elevata-purezza aiutano a ridurre i difetti legati alle impurità-, mentre il comportamento uniforme dello sputtering supporta il controllo preciso dello spessore del film richiesto per la fabbricazione avanzata di semiconduttori.

2.Rivestimenti ottici
I rivestimenti a base di titanio-vengono utilizzati in lenti, filtri e componenti ottici. La composizione stabile del target contribuisce a proprietà ottiche costanti, tra cui riflettività, trasmissione e controllo dell'indice di rifrazione su grandi lotti di produzione.

3. Produzione di display a schermo piatto
I produttori di display richiedono rivestimenti uniformi su ampie aree del substrato. Le microstrutture target omogenee supportano anche la deposizione della pellicola, contribuendo a migliorare l'uniformità della visualizzazione e a ridurre la variazione del rivestimento tra i pannelli.

4.Supporti di memorizzazione dei dati
I dispositivi di memorizzazione magnetica dipendono da strutture a film-sottile altamente controllate. Gli obiettivi ad alta-densità e a basso-difetto contribuiscono a migliorare la qualità della pellicola e a migliorare le prestazioni di registrazione.

5.Rivestimenti decorativi e funzionali
I rivestimenti in titanio forniscono resistenza all'usura, resistenza alla corrosione e finiture superficiali attraenti. Le prestazioni costanti dello sputtering garantiscono un aspetto del colore e uno spessore del rivestimento uniformi per prodotti di consumo e industriali.

 

 

1.Livelli di purezza personalizzati
China Super Tech Co., Ltd. può fornire vari gradi di purezza in base ai requisiti del processo di rivestimento, bilanciando gli obiettivi prestazionali e i budget del progetto.

2. Dimensioni e forme flessibili
Disponibili nelle geometrie rotonda, rettangolare, rotativa, planare e-progettata dal cliente. Le capacità di lavorazione di precisione consentono tolleranze dimensionali strette per la compatibilità con i principali sistemi di sputtering.

3.Soluzioni incollate e con piastra di supporto
Forniamo gruppi target completi incollati con materiali e configurazioni della piastra di supporto personalizzati per soddisfare i requisiti specifici delle apparecchiature.

4. Ingegneria della struttura dei grani controllati
A differenza dei fornitori che si concentrano solo sulla chimica, noi ottimizziamo i rapporti di riduzione della forgiatura e i parametri del trattamento termico per ottenere strutture di grani controllate che migliorano l'uniformità dello sputtering e l'utilizzo target.

5.Documentazione completa sulla qualità
La documentazione disponibile comprende rapporti sulla composizione chimica, registrazioni di ispezioni dimensionali, rapporti di test a ultrasuoni, certificati di materiali e requisiti di qualità personalizzati per l'industria dei semiconduttori e dell'elettronica.

 

 

Parametro	Specifica
Materiale	Titanio puro
Purezza	99.5% – 99.995%
Processo di produzione	Fusione sotto vuoto + Forgiatura + Lavorazione meccanica di precisione
Opzioni di forma	Rotondo, Rettangolare, Rotante, Personalizzato
Densità	Densità teorica maggiore o uguale al 99%.
Struttura del grano	Fine e uniforme
Finitura superficiale	Lavorato con precisione
Opzione di incollaggio	Legame con indio / Legame con elastomero / Personalizzato
Gamma di diametri	Fino a 500 mm
Intervallo di lunghezza	Personalizzato
Intervallo di spessore	Personalizzato
Tolleranza dimensionale	Secondo i requisiti del cliente
Metodi di ispezione	Analisi chimiche, test UT, controlli dimensionali
Conformità	ASTM B265 e specifiche del cliente

 

 

 

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